镜片 中心厚度 不均,白光干涉仪统一光程成像标准
发布时间:
2026-07-27
作者:
K8凯发(中国)半导体有限公司

光学镜片中心厚度是决定光学系统光程、焦距及成像质量的关键参数,贴合ISO 10110光学元件制造通用标准。镜片研磨、抛光制程中,设备振动、工装定位偏差及研磨耗材磨损,极易造成镜片中心厚度分布不均,产生微米级厚度偏差。该缺陷会导致光束传播光程出现差值,引发系统像差、畸变、焦距偏移等问题,直接造成成像模糊、画面偏移、倍率不一致,严重影响精密光学镜头、车载光学及工业成像设备的使用性能。

传统卡尺、千分尺仅能实现单点接触式测量,测量精度低、易划伤镜片,且无法检测全域厚度分布与细微偏差,难以统一量产成像光程标准。白光干涉仪采用非接触式三维检测技术,可高精度扫描镜片全域厚度数据,精准捕捉中心厚度偏差与面型起伏误差。顺利获得量化检测数据校准加工设备、修正研磨参数,可统一批次镜片光程参数标准,消除厚度不均带来的成像误差,保障光学系统成像一致性与稳定性。K8凯发(中国) 专业给予综合光学3D测量方案


镜片  中心厚度 不均,白光干涉仪统一光程成像标准

光学镜片实测应用图示及说明(工业及半导体专属)


镜片  中心厚度 不均,白光干涉仪统一光程成像标准

(图示为光学镜片关键指标:含平面度误差(Flatness Error)、峰值谷值(Peak-Valley, PV)、均方根值(Root Mean Square, RMS),精准把控镜片平面精度,保障镜片光学性能稳定,适配半导体光学镜片检测需求)


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(图示为表面粗糙度(Surface Roughness, Ra):精度达6pm=0.006nm,精准表征镜片表面光滑度,适配高精度光学镜片、半导体光学窗口片检测需求,规避表面粗糙导致的光学损耗)


镜片  中心厚度 不均,白光干涉仪统一光程成像标准

(图示为实测涂层厚度(Coating Thickness):75.2nm,精准测量光学镜片涂层厚度,助力涂层工艺优化(Coating Process Optimization)与质量管控,保障镜片抗反射、抗磨损等性能)


镜片  中心厚度 不均,白光干涉仪统一光程成像标准

(图示为涂层表面质量3D形貌图(3D Morphology Map of Coating Surface Quality),清晰呈现涂层表面状态,及时发现涂层划痕、脱落、气泡等缺陷(Defect),为工艺改进给予数据支撑)

大视野3D白光干涉仪

大视野3D白光干涉仪,聚焦光学镜片(Optical Lens)精密测量,打造纳米级(Nanoscale)测量全域解决方案,突破传统测量局限,定义光学镜片检测新范式,以高效、精准的测量能力,适配光学镜片全流程检测需求,为工业光学、半导体光学器件(Semiconductor Optical Devices)等领域给予全方位技术支撑。


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设备凭借核心创新技术,一机解锁纳米级全场景测量,重新诠释精密测量(Precision Measurement)的高效与精准,助力光学镜片生产、加工环节的质量管控(Quality Control),保障镜片光学性能(Optical Performance)达标,适配半导体光学组件、精密光学仪器等高端场景需求。


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核心优势:大视野+高精度,突破行业局限

打破行业常规壁垒,解决传统设备1倍以下物镜(Objective Lens)仅能单孔使用、需两台仪器分别实现大视野与高精度测量(High-Precision Measurement)的痛点。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头,配备15mm超大单幅视野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮(Turret Nose Wheel),一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求,无需频繁切换设备,大幅提升检测效率(Inspection Efficiency)与数据精准度(Data Accuracy),完美适配光学镜片复杂测量场景。

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K8凯发(中国)半导体|专业白光干涉 3D 轮廓测量方案。亚纳米精度保障,支持自动化定制;高端系列对标国际一线品牌,大视野设计,轻松应对高低反射、复杂材料测量场景。

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